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 特種氣體屬于工業氣體的一種。工業氣體是現代工業重要的基礎原料，根據不同氣體的生產工藝和用途，可以將工業氣體分為特種氣體、合成氣體、空分氣體三大類。特種氣體的應用領域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產四大領域,其中主要應用于半導體集成電路的生產制造。在半導體工業中應用的有110 余種單元特種氣體,其中常用的有20～30 種。電子工業是當今推動科技發展的高新技術產業，由于所用氣體的品種多、質量要求高，為有別于其它領域應用的氣體，人們把這類在電子工業中用的氣體統稱為電子特種氣體。

特種氣體是工業氣體中的一個新興門類，是隨著近年來工業、科學研究、自動 化技術、精密檢測，特別是微電子技術的發展而發展起來的。特種氣體的儲存注意事項：高壓容器內，存有內容物時，無論內容量多少，在該容器儲存場地2m內，嚴禁明火或放置燃、可燃物。場所的環境溫度≤40℃為佳。特種氣體的重要性：電子特種氣體決定了集成電路的終良率和可靠性。由于電子氣體用途多，用量大。所以電子氣體也直接決定了 終芯片的良率和可靠性，

特種氣體在太陽能電池中的應用：晶體硅電池片生產中的擴散工藝用 到 POCl3 和 O2，減反射層 PECVD 工藝用到 SiH4、NH3，刻蝕工藝用到 CF4；特種氣體分類：高純氣體通常指利用現代提純技術能達到的某個等級純 度的氣體，對于不同類別的氣體，純度指標不同，大多用于超大規模集成電路及分離器 件、光電子等高科技領域；特種氣體的重要性：正是因為電子氣體在集成電路制造中的使用量大，應用范圍廣的特點。所以電子氣體直接決定了芯片制造的良率 與可靠性等等。所以電子氣體也被譽為集成電路制造中的“血液”。

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